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真空上料機的核心部件主要包括真空泵、過濾器、氣動放料門等，其國產化替代進程如下：
真空泵：在中低端市場，本土企業已實現規模化突破，例如某真空泵在光伏真空泵領域市占率超70%，并逐步切入半導體領域，2023年真空產品收入達16.42億元，占總營收42.63%。在半導體制造領域，某企業通過自主研發的干式真空泵技術，已在中芯國際、長江存儲等企業實現量產交付，打破了多個國際品牌的壟斷，國產化率從不足5%提升至15%-20%。不過，在超高真空設備領域，本土企業仍落后于國際品牌，但正通過產學研合作加速突破。
過濾器：國內企業在過濾器研發與生產方面取得了一定進展。一些企業能夠生產多種類型的過濾器，如聚酯覆膜過濾器、PE過濾器、316L不銹鋼過濾器等，滿足不同行業對真空上料機過濾性能的需求，例如，部分企業生產的不銹鋼過濾器，其過濾精度和耐腐蝕性能可與進口產品相媲美，且價格更具優勢，在國內市場的占有率逐漸提高。在一些對過濾精度要求較高的食品、醫藥等行業，國產過濾器也開始得到廣泛應用。
氣動放料門：隨著國內制造業的發展，氣動放料門的國產化替代也在穩步推進。國內一些企業通過引進國外先進技術并進行消化吸收，結合自身的創新能力，生產出的氣動放料門在性能和質量上有了很大提升，其密封性、可靠性和使用壽命等指標都能滿足真空上料機的工作要求，并且在價格和售后服務方面具有明顯優勢。目前，國產氣動放料門已在國內眾多企業的真空上料機設備中得到應用，逐漸替代了部分進口產品。
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